隨著納米技術的迅速發展和應用范圍日趨廣泛，微型機械、微機電系統技術以及相應的精密微細加工、微型零件及微機械精密制造技術亦獲得了快速發展。為了制造微型零件和微機械，精微機械加工發展迅速，現己達到較高水平。精微電火花加工、精微超聲振動加工、精微準分子激光加工、精微塑性成型加工等均已用于加工精度達微米級尺度的微小機構零件。此外，還發展了不少專用的新工藝，如立體光刻技術、LIGA技術、犧牲層工藝等。并已開發了微型機械的自動裝配技術和微型機械制造廠等。下面只簡要介紹精密微細機械加工技術的最新進展。